SVS6300匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至12英寸圆晶尺寸底物,采用工业级别伺服电机和PLC控制,7寸全彩屏触摸界面操作,简单易用。S6300 匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备,纳米薄膜研究等相关领域。
S6300 匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作。透明可视,而化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。并展现出非常高的性价比,可升级自动点胶系统。
SANNO 6300匀胶机特性优点:
● 可编程100组100步程序
● 400W伺服电机,PLC控制
● 7"全彩触摸屏,简单易用
● HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖
● 真空互锁及盖子开关互锁安全功能
● 防堵胶功能设计
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SANNO 6300 匀胶机详细参数
产品型号 | S6300 |
支持圆片/晶片尺寸 | 25px-300mm(12" 圆晶) |
速度可调范围 | 0-5000rpm |
加速度可调范围 | 100-10000rpm/s |
大单步旋涂时间 | 3000s |
时间分辨率 | 0.1s |
转速分辨率 | 1rpm |
电压输入 | AC100-230V,可切换中英文操作界面 |
外型尺寸 | 600*470*300mm |