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2单靶直流磁控溅射仪--VTC-16-SM

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更新日期2023-06-07 03:29

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联系地址:安徽合肥市

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商品信息

基本参数

品牌:

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所在地:

安徽 合肥市

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有效期至:

长期有效
详细说明

VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。

用直流磁控溅射仪可获得单相Al膜

技术参数

输入电压

AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz

输入功率

< 2000W 

输出功率

电压:1600VDCzui大电流:150mA 

腔体

石英腔体:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height


溅射头和样品台

2英寸带水冷磁控溅射头一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0 - 5 RPM 

配有一手动操作的挡板,包含靶头支撑架

样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:60-100mm

     (点击图片查看详细资料)

控制面板

6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度


附件(可选)

双极旋片真空泵VRD-8,KF25接口

KF25不锈钢波纹管

10L/min 循环水冷机冷却磁控靶头  
  

气氛

含一个控制进气的针阀和一个放气阀


靶材

靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金属,可选购

可选配件

膜厚监测仪分子泵,可获得高真空, >10E-5 torr为获得的薄膜强度,建议镀膜前用等离子清洗机对基片进行清洗。500度样品加热台         
    

 

体积

    
  ( L 440mm×W 330mm × H 290mm 

净重

20 kg ( not included pump )

质保和证书

一年质保,终生维护CE认证

磁控溅射镀膜知识

与客户分享的磁控溅射镀膜技术,请点击文章链接- Plasma Sputter Coating.  

 
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