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英国机械学家威利斯（R.Willis）在其《机构学原理》（The Principle of Mechanism，1841年）所给的定义是：“任何机械（machine）都是由用各种不同方式连接起来的一组构件组成，使其一个构件运动，其余构件将发生一定的运动，
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溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。低温泵：利用低温表面捕集气体的真空泵按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。粗真空系主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。
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把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子。
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