iGX100MTI半导体真空泵维修-厦门太星机电

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厦门太星机电有限公司生产真空泵、销售、维修等，气体管道工程设计、施工、安装、检漏等专注致力于超高纯工艺气体介质输送、控制系统集成，以及实验室搭建和无尘洁净室建设工程总包服务商。主要旋片真空泵、罗茨真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、水环真空泵、活塞泵、隔膜泵等销售及维修，干冰机及干冰清洗、3D打印服务。

2.主管路系统的设计

在确定好气体房和用气点以后，主管路系统一般遵循管道线路短，拐弯少，布置紧凑合理，给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送(1/4-3/4)而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。

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6、气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。

7、气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，iGX100MTI半导体真空泵维修，设置合适的支架位置。

8、特气管道需与其他管道分开单独引入，氢气管道与其他管道同架铺设时间隔少0.25M，切应在其他管道上方。

9、其他标准要求则需根据实验室具体结构制定。

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2.系统检测

特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。压力检测一般采用比较精密的圆盘式压力检测仪或电子检测仪，不用压力表。这样大大提高了检测的精密度。水、氧测试采用水氧分析仪;颗粒度测试目前基本采用激光颗粒测试仪，精度达到0.1微米;而对要求更高的采用核凝结技术(CNC)它可达到0.01微米。其它气相杂质的测试根据具体要求确定。