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音圈电机特点:
SUPT摆动型音圈电机系列采用矩型系列产品的技术,将矩形系列产品予以弯曲,摆动电机,以形成一定的优先角度定位系统。其典型的扭矩达到100度,扭力达 50 N·m。摆动型系列产品典型应用于激光技术中的镜面定1位器,摆动型阀门制动器、摆动型定位系统以及飞行控制器等方面,涉及半导体行业、自动化、飞机工业领域。与U型直线电机和平板型直线电机相比它可以提供更好的高频响应特性,可做高速往复直线运动,特别适合用于短行程的闭环伺服控制系统。音圈直线电机的控制简单可靠,无需换向装置,寿命长。SUPT音圈电机,是一种将电能转化为机械能的装置,并实现直线型及有限摆角的运动。它利用来自磁场或通电线圈导体产生的磁场中磁极的相互作用产生有规律的运动。因为音圈电机是一种非换流型动力装置,其定位精度完全取决于反馈及控制系统,与音圈电机本身无关。采用合适的定位反馈及感应装置其定位精度可以轻易达到10nm,加速度可达300g(实际加速度取决于负载物具体工作状况)。
对直线电机控制技术的研究基本上可以分为三个方面:一是传统控制技术,二是现代控制技术,三是智能控制技术。传统的控制技术如PID反馈控制、解耦控制等在交流伺服系统中得到了广泛的应用。其中PID控制蕴涵动态控制过程中的信息,摆动电机供应,具有较强的鲁棒性,摆动电机安装,是交流伺服电机驱动系统中基本的控制方式。为了提高控制效果,往往采用解耦控制和矢量控制技术。在对象模型确定、不变化且是线性的以及操作条件、运行环境是确定不变的条件下,采用传统控制技术是简单有效的。但是在高的精度微进给的高的性能场合,就必须考虑对象结构与参数的变化。各种非线性的影响,运行环境的改变及环境干扰等时变和不确定因数,摆动电机厂,才能得到满意的控制效果。因此,现代控制技术在直线伺服电机控制的研究中引起了很大的重视。常用控制方法有:自适应控制、滑模变结构控制、鲁棒控制及智能控制。主要是将模糊逻辑、神经网络与PID、H∞控制等现有的成熟的控制方法相结合,取长补短,以获得更好的控制性能。
直线电机主要特点是:1、加速度大;2、推力特性平滑;3、行程可任意延长;4、静音;5、免维护等,配合光柵尺的应用也可达较高的精度。
其主要应用包括:
1.半导体生产制造设备,包括晶圆制造和 晶片封装设备等
2.平板显示器产业(FPD )精密测试设备、硬盘制造、连接器制造、印刷制板设备等
3.生命科学、设备、机器视觉检测设备、各种取放装置
4.电子元件表面贴装、PCB 检测设备等
5.物流设备装置等
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