为了让厚度量测数据清晰而又精确，一种使用*技术的双传感器测厚系统应运而生。
Solarius研发的厚度测量系统使用两个上下精确对位的非接触式传感器。这种测量方式快速准确，允许从上下两侧同时测量样品的一层或多层的厚度。系统工作时，样品上下两侧同步量测，这样来自上下两种传感器的测量值差异将生成终的厚度数据。
快速且精确的厚度检测
模块化设计
高效率大面积检测
灵活且易于自动化
可定制的人机交互式界面
定制化分析
非接触式无损测量
AOP厚度测量系统配备一套纳米级精度的XY运动平台，该平台测量范围高达400mmx400mm。两个对称安装的高速点或线传感器，其高度测量范围从2mm到145mm，分辨率从0.2um到5um。Solarius SolarScan软件提供自动测量功能以及定制化程序模板；模块化的系统设计为定制化分析软件提供了较大程度的灵活性。
厚度测量系统-Solarius
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