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光谱随偏仪
一、光谱椭偏仪适用于材料范围：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质等二、光谱椭偏仪技术参数：膜厚范围1nm～5um厚度分辨度0.1 nm膜厚准确度1mm光学参数可得出：n（折射率）、k（吸收率）值折射率精 		2023-06-07
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